重新思考深孔结构中的每周期生长量
结合氧化锌实验的扩散–反应研究探讨了较低的每周期生长量如何改善高深宽比结构中的渗透深度，为兼顾共形性与生长速率提供了思路。
预印本 · arXiv · Gonsalves et al.
阅读原始来源 从表面出发设备 / 化学 / 计算
相互连接的方法
三个视角。
同一个材料挑战。
反应器定义环境，化学定义反应，模拟帮助解释结果。我们的规划技术方向将这些视角连接起来。
公司初期展示。技术方向正在定义中；插图为概念示意，并非产品照片。
01
前驱体 A
02
吹扫
03
反应物 B
04
吹扫
循环示意。每周期生长量取决于化学体系；一个循环并不一定沉积完整原子单层。
ALD 研究观察
启发下一层
创新的思路。
面向太阳能电池的原子层增材制造
研究人员利用局域自限性沉积构建 ZnS / Sb₂S₃ / V₂O₅ 堆叠并制备太阳能电池，探索通过直接图案化提升光伏器件原型开发的灵活性。
期刊论文 · Communications Materials · Mc Naire et al.
阅读原始来源 用于超薄互连的 ALD 磷化钽
作者报告了在 SiO₂ 上生长非晶 TaP 的研究，讨论特殊的厚度依赖输运与表面导电现象。其互连应用潜力仍需在已报告实验之外进一步评估。
预印本 · arXiv · Lim et al.
阅读原始来源 下一步
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