重新思考深孔结构中的每周期生长量
结合氧化锌实验的扩散–反应研究探讨了较低的每周期生长量如何改善高深宽比结构中的渗透深度，为兼顾共形性与生长速率提供了思路。
预印本 · arXiv · Gonsalves et al.
阅读原始来源 ALD 研究观察
近距离观察
下一层创新。
精选原子层沉积进展与实用方法。原创摘要直接链接到研究来源，并明确标注发布日期与证据类型。
面向太阳能电池的原子层增材制造
研究人员利用局域自限性沉积构建 ZnS / Sb₂S₃ / V₂O₅ 堆叠并制备太阳能电池，探索通过直接图案化提升光伏器件原型开发的灵活性。
期刊论文 · Communications Materials · Mc Naire et al.
阅读原始来源 用于超薄互连的 ALD 磷化钽
作者报告了在 SiO₂ 上生长非晶 TaP 的研究，讨论特殊的厚度依赖输运与表面导电现象。其互连应用潜力仍需在已报告实验之外进一步评估。
预印本 · arXiv · Lim et al.
阅读原始来源 从实践角度理解 ALD
该方法综述串联前驱体化学、反应器选择、表征与应用，强调可重复性、合理的评价指标以及影响工艺开发的局限性。
方法综述 · Nature Reviews Methods Primers · Kessels et al.
阅读原始来源 量子计算与 ALD 反应建模
研究通过团簇模型及变分量子本征求解器模拟探索锆前驱体的表面反应。这是一种探索性计算方法，并不意味着量子计算流程已可用于实际生产。
预印本 · arXiv · Plekhanov et al.
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整理于 2026 年 10 月 6 日。日期为出版或首次提交日期，而非网站抓取日期。本列表为精选阅读，并非完整资讯流。预印本不一定经过同行评议。